芯片外观检测
适用于芯片外观缺陷检测
描述
产品优势
高效率: 可支持芯片的6个面的外观检测, UPH: 3000
高集成度:模块化设计,可支持多个真空吸嘴手臂灵活调整；机台设计空间利用率高, 集成了6个运动轴以实现多角度的检测
支持输出实时检验报告和良率统计, 支持MES系统
产品参数
| 机台尺寸 | L2500mm*W1600mm*H2000mm |
| 上下料方式 | 自动Tray盘上下料 |
| UPH | 3000 |
| 集成性 | 高度集成自动化/机器视觉检测 |
| 准确性 | ≤0.01mm² |
| 误杀率 | <5% |
| 漏杀率 | <1% |
| 兼容性 | 兼容2mm*2mm~10mm*10mm大小的芯片外观检测 |
